[发明专利]光电转换装置和使用光电转换装置的成像系统

摘要

一种光电转换装置，包括：形成光电转换元件的一部分的第一半导体区域；层叠于第一半导体区域上并且形成光电转换元件的一部分的第二半导体区域；从光电转换元件向其传送信号电荷的第三半导体区域；处于第一和第三半导体区域之间并处于第二和第三半导体区域之间、比第一半导体区域更接近主表面、并与第一半导体区域连接的、具有较高的杂质浓度的第一导电类型的第四半导体区域；第四半导体区域之上的第一栅电极，处于主表面上并处于第一栅电极和第四半导体区域之间的绝缘膜；以及，处于第三和第四半导体区域之间并处于绝缘膜之上的第二栅电极。

主权项

一种光电转换装置，包括：具有主表面的半导体基板；形成光电转换元件的一部分的第一导电类型的第一半导体区域；层叠于第一半导体区域上并且形成所述光电转换元件的一部分的、与第一导电类型相反的第二导电类型的第二半导体区域；从所述光电转换元件向其传送信号电荷的第一导电类型的第三半导体区域；第一导电类型的第四半导体区域，第四半导体区域具有比第一半导体区域的杂质浓度高的杂质浓度，第四半导体区域被布置在第一和第三半导体区域之间并被布置在第二和第三半导体区域之间，第四半导体区域被布置为比第一半导体区域更接近所述主表面，并且，第四半导体区域与第一半导体区域连接；被布置在第四半导体区域之上的第一栅电极，绝缘膜被布置在所述主表面上并被布置在第一栅电极和第四半导体区域之间；和被布置在第三和第四半导体区域之间并被布置在所述绝缘膜之上的第二栅电极。