[发明专利]感应共振梳齿驱动扫描仪

摘要

简要地，根据一个或多个实施例，基于MEMS的扫描平台(114)被布置为通过直接通过向设置在第一框架上的一组梳齿指(214、216)施加驱动电压以使第一框架经由第一屈曲(210)的扭转振荡来直接驱动扫描平台的第一框架(116)并通过经由第二框架经由第二屈曲与第一框架的机械耦合来间接驱动扫描平台的第二框架(212)而具有增加的效率，其中阻尼损耗和工作量使得扫描反射镜的操作比梳齿指的组被设置在第二框架上并直接由驱动电压驱动的情况下更高效。扫描平台可以包括1D扫描仪、2D扫描仪、或多维扫描仪。

主权项

一种扫描平台，包括：扫描反射镜，所述扫描反射镜被设置在扫描主体中；以及外框架，所述外框架经由第一屈曲来支撑所述扫描主体和所述扫描反射镜，所述外框架经由第二屈曲被支撑在固定主体中，所述扫描主体和所述外框架具有设置在其上的第一组梳齿指以使所述扫描主体响应于被施加于所述第一组梳齿指的第一驱动电压经由所述第一屈曲的扭转或其它偏转绕第一轴振荡，并且所述外框架和所述固定主体具有设置在其上的第二组梳齿指以使所述外框架响应于被施加于所述第二组梳齿指的第二驱动电压经由所述第二屈曲的扭转或其它偏转绕第二轴振荡；其中，所述扫描反射镜经由所述扫描主体的振荡绕所述第一轴振荡，并且所述扫描反射镜经由所述外主体的振荡绕所述第二轴振荡以产生由所述第一驱动电压和所述第二驱动电压得到的二维扫描模式。