[发明专利]光学检查探头有效
申请号: | 200980117889.9 | 申请日: | 2009-05-19 |
公开(公告)号: | CN102037309A | 公开(公告)日: | 2011-04-27 |
发明(设计)人: | 尼古拉斯·约翰·韦斯顿;亚历山大·戴维·麦肯德里克 | 申请(专利权)人: | 瑞尼斯豪公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/24 |
代理公司: | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人: | 邵毓琴 |
地址: | 英国格*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 一种光学检查探头,该光学检查探头用于得到和提供将要检查的物体的图像。所述光学检查探头包括:成像组件,该成像组件用于捕获物体的图像;以及照明组件,该照明组件用于产生被朝向物体引导的光束。该光学检查探头被构造成使得所述光束会聚在位于第一焦平面的焦点处。 | ||
搜索关键词: | 光学 检查 探头 | ||
【主权项】:
一种光学检查探头,该光学检查探头包括:成像组件,该成像组件用于捕获物体的图像;以及照明组件,该照明组件用于产生被朝向所述物体引导的光束,并且该光束会聚在位于第一焦平面的焦点处。
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