[发明专利]改进MEMS谐振器有效
| 申请号： | 200980117911.X | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102037644A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 彼得·G·斯蒂内肯 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种微机电谐振器包括具有各向异性的方向性弹性特性的材料。谐振器的形状使得从谐振器的质心到谐振器的外围边缘上第一点的第一方向上的第一距离大于从质心到边缘上不同的第二点的第二方向上的第二距离。对于每一第一方向和每一第二方向，材料在第一方向上的弹性模量小于在第二方向上的弹性模量。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种微机电谐振器(44)，包括具有各向异性的方向性弹性特性的材料，其中谐振器(44)的形状使得从谐振器的质心到谐振器(44)的外围边缘上第一点的第一方向上的第一距离大于从质心到边缘上不同的第二点的第二方向上的第二距离，对于每一第一方向和每一第二方向，材料在第一方向上的弹性模量小于在第二方向上的弹性模量。
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