[发明专利]用于部件的单轴线横截面扫描的方法和装置无效
| 申请号： | 200980118442.3 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN102037536A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | C·D·克兰普;B·凯拉;D·布莱格尔曼 | 申请（专利权）人： | 克伦普集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/14 | 分类号： | H01J3/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 浦易文;李丹丹 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于部件的横截面扫描的改进方法和装置采用其中扫描装置的焦平面从不沿垂向方向、即部件/封装组合的台架移动的方向移动的扫描工位。材料去除和扫描的不同步骤与去除表面层之后沿垂向方向移动部件/封装组合，因此将新形成的表面放回不移动焦平面进行下次扫描步骤的中间步骤交替进行。去除工位(不是承载部件/封装组合的台架)在扫描步骤之间重复移入和移出扫描工位的视野。材料去除工位具体构造成去除所要求的部件/封装组合的表面层和形成的碎屑，而无需先前商业应用中独立的环境特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 部件 轴线 横截面 扫描 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于扫描具有外表面的基本上透明的部件的系统，包括：数据采集工位、材料去除工位以及桌台，所述桌台仅提供所述部件相对于所述数据采集工位沿垂向路径的垂向移动；其中所述部件封围在封装材料内以形成组件；所述材料去除工位去除所述组件的一部分以露出表面。
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