[发明专利]薄膜太阳电池的划线装置无效
申请号: | 200980119016.1 | 申请日: | 2009-05-13 |
公开(公告)号: | CN102047392A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 曾山正信 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/301 | 分类号: | H01L21/301;B28D5/00;H01L31/04 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供可容易调整被形成的划线的线宽的薄膜太阳电池的划线装置。具备支承薄膜太阳电池的基板的支承手段、沿前述基板的一面的划线预定线按压装设于前端的刃前缘的划线头、使前述基板与前述划线头相对移动的移动手段。以前述划线头与前述基板相对移动而在前述基板的一面形成划线。前述划线头的前述刃前缘的前端形状为圆柱状,且前述刃前缘是配设为相对移动的移动方向与圆柱形状的中心线方向大致一致。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 太阳电池 划线 装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜太阳电池的划线装置,具备支承薄膜太阳电池的基板的支承手段、沿前述基板的一面的划线预定线按压装设于前端的刃前缘的划线头、及使前述基板与前述划线头相对移动的移动手段,以前述划线头与前述基板相对移动而在前述基板的一面形成划线,其特征在于:前述划线头的前述刃前缘的前端形状为圆柱状,且前述刃前缘是配设为相对移动的移动方向与圆柱形状的中心线方向大致一致。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造