[发明专利]AlxGa1-xN单晶和电磁波透过体无效
申请号: | 200980119278.8 | 申请日: | 2009-05-25 |
公开(公告)号: | CN102046858A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 荒川聪;樱田隆;宫永伦正;谷崎圭祐;水原奈保;佐藤一成;中幡英章 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | C30B29/38 | 分类号: | C30B29/38;H01L21/3065;H05H1/46 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 陈海涛;樊卫民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种适合作为电磁波透过体的AlxGa1-xN单晶。本发明还公开了一种包含AlxGa1-xN单晶的电磁波透过体。当在25℃的气氛温度下,施加1MHz和1GHz中的至少任何一种高频信号时,AlxGa1-xN(0<x≤1)单晶(2)具有不大于5×10-3的介电损耗角正切。电磁波透过体(4)包括具有一个主面(2m)的AlxGa1-xN单晶(2),其中当在25℃的气氛温度下,施加1MHz和1GHz中的至少任何一种高频信号时,所述AlxGa1-xN单晶(2)具有不大于5×10-3的介电损耗角正切。 | ||
搜索关键词: | al sub ga 电磁波 透过 | ||
【主权项】:
一种AlxGa1‑xN(0<x≤1)单晶,所述AlxGa1‑xN单晶在25℃的气氛温度下、在至少向其施加1MHz或1GHz高频信号的情况下,具有5×10‑3以下的介电损耗角正切。
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