[发明专利]与原子层沉积反应器相连接的装置

摘要

本发明涉及一种与包括反应腔室的原子层沉积反应器相连接的装置，该装置包括用来向反应腔室(2)供给反应气体并且用来回吸反应气体的部件，以及用来供给阻隔气体的部件。用来供给与回吸反应气体和用来供给阻隔气体的部件包括具有延伸通过其中的多个相平行的通道(4至7)的中间元件(3)，以及被布置在通道(4至7)开口于其中的中间元件(3)的两端的第一回流元件和第二回流元件(8，9)，回流元件(8，9)被布置成结合中间元件(3)中的通道以便于提供通道间的流动。

主权项

一种与原子层沉积反应器相连接的装置，所述原子层沉积反应器包括反应腔室，所述装置包括用来将反应气体供给到所述反应腔室(2)并且用来回吸所述反应气体的部件，以及用来供给阻隔气体的部件，其特征在于，用来供给与回吸所述反应气体和用来供给所述阻隔气体的部件包括：中间元件(3)，该中间元件具有延伸通过该中间元件的多个相平行的通道(4至7)；以及第一回流元件和第二回流元件(8，9)，所述第一回流元件和第二回流元件被布置在所述中间元件(3)的两端，所述通道(4至7)通到所述第一回流元件和第二回流元件中，所述第一回流元件和第二回流元件(8，9)被布置成将所述中间元件(3)中的各通道加以组合从而提供通道间的流动。