[发明专利]用于软光刻的硅酮橡胶材料有效
| 申请号： | 200980120890.7 | 申请日： | 2009-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN102056990A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | M·A·弗舒伦 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C08L83/04 | 分类号： | C08L83/04;C08L83/07;B41N1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谢建云;刘鹏 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅酮橡胶类材料和一种包括含有这种材料的印模层(100；201)的印刷设备。该材料适合用于软光刻，因为它使得能够实现在衬底上获得的纳米范围内的尺寸的稳定特征，并且还允许容纳在粗糙和不平坦的衬底表面上。本发明还涉及用于制造硅酮橡胶类材料和印模层(100；201)的方法以及其在光刻工艺中的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 硅酮 橡胶材料 | ||
【主权项】：
一种硅酮橡胶类材料，包括被至少一种线性聚硅氧烷交联的至少一种Q型支链和/或T型支链聚硅氧烷，其中所述材料具有在从7MPa到80MPa的范围内的杨氏模量。
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