[发明专利]具有高温度稳定性的HBAR谐振器

摘要

本发明涉及谐波体声学谐振器HBAR型的谐振器，包括：夹在具有强电声学耦合的两个电极(4，8)之间的压电换能器(6)，且根据第一切割角θ1被切割；和具有至少等于5.1012的工作频率声品质系数的声学衬底(10)且根据具有至少一个剪切振动模式的第二切割角θ2被切割。换能器和衬底被设置由此换能器的剪切模式的极化方向与衬垫的剪切的极化方向对齐，且第二切割角θ2使得对应于剪切模式和第二切割角θ2的一阶频率温度系数CTFB1为0，其每侧的符号相反，或者等于偏差。

主权项

1.一种用于在预定工作频率工作的高体声学谐振器型谐振器，包括：由第一材料的具有第一厚度的层形成的压电换能器(6)，该第一材料沿由IEEE Std-176(1949修订本)标准的术语定义的角度取向，且该角度等于0，该第一材料沿由IEEE Std-176(1949修订本)标准的术语(YX1)/θ定义的第一切割角θ1被切割，由此仅该材料的剪切波的电声学耦合大于5％，该换能器具有作为所述第一切割角θ1的函数的一阶频率温度系数CTFA；由第二材料的具有第二厚度的第二层构成的声学衬底(10)，该第二材料具有至少等于5.10¹²的功能频率声品质系数因子，沿由IEEE Std-176(1949修订本)标准的术语定义的角度取向，且该角度等于0，该第二材料沿由IEEE Std-176(1949修订本)标准的术语(YX1)/θ定义的第二切割角θ2被切割，具有对应于振动的剪切模式的至少一个极化方向该声学衬底(10)具有对应于至少一个剪切模式且取决于所述第二切割角θ2的一阶频率温度系数CTFB1；由粘合到所述换能器(6)的第一面和声学衬底(10)的一个面的金属层形成的对电极(8)；以及设置在所述换能器(6)的第二面上的上电极(4)，该第二面为所述换能器(6)的第一面的相反面且远离所述衬底(10)；其特征在于，所述换能器(6)和衬底(10)的相对设置使得对应于所述第一切割角θ1的所述换能器(6)的剪切模式的极化方向与对应于所述第二切割角θ2的衬底(10)的至少一个剪切模式的极化方向对齐；以及所述衬底(10)的第二切割角θ2使得对应于所述至少一个剪切模式和所述第二切割角θ2的所述一阶频率温度系数CTFB1为0，其在两侧的符号相反，或者在所述第二厚度与第一厚度的比大于或等于0.02时等于通过该第二厚度与第一厚度的比的递增函数加权的所述换能器(6)的频率温度系数CTFA的相反数。