[发明专利]用于生产光伏用多晶硅的系统和方法

摘要

本发明涉及一种用于生产光伏用多晶硅的设备和方法。所述设备的特征在于，它包括优选地为三个(1，2，3)的多个室，该多个室一个接一个地沿纵向布置且配备有：气体注入和抽取装置；用于引导(7)和移动包含硅基材料的坩埚(6)的装置；绝热和温度控制装置；加热装置；用于每一个室的气密装置(8)。所述室中的一个室构成所述设备的熔炉并且包括区域(4)，坩埚(6)中包含的材料的熔炼在该区域中进行，所述熔炉配备有加热装置并且承载热稳定基座(5)，该基座适于使坩埚沿竖向移动，并且因此分别用来将坩埚引入熔炼区域(4)中或从熔炼区域取出该坩埚。

主权项

一种用于生产硅基多晶材料的设备，其特征在于，该设备包括多个室，优选为三个室(1，2，3)，所述多个室在它们之间沿纵向定位并且由弯曲的和/或平坦的侧壁界定，所述多个室被设计成使得冷却流体在所述侧壁内循环，并且一个接一个地沿纵向布置，并且所述设备包括：‑气体注入和抽取装置；‑用于引导(7)和移动包含所述硅基多晶材料的坩埚(6)的装置；‑绝热和温度控制装置；‑加热装置；‑用于每一个室的气密装置(8)；所述多个室中的一个室构成包括区域(4)的系统的熔炉，在所述区域中实现所述坩埚(6)中所包含的材料的熔炼，所述熔炉配备有加热装置并且承载热稳定基座(5)，所述热稳定基座配备有用于沿竖向移动以将所述坩埚(6)引入所述熔炼区域(4)中或从所述熔炼区域取出所述坩埚的装置。