[发明专利]使用微机电系统装置的压力测量无效
| 申请号： | 200980122695.8 | 申请日： | 2009-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN102066891A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 卡斯拉·哈泽尼 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L11/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种用以测量压力的装置。在一个实施例中，所述装置包括：至少一个包括由空间分离的两个层(24、26)的元件，其中所述空间的尺寸在可变的时间周期中响应于施加在所述两个层上的电压而改变；以及测量模块，其经配置以测量所述时间周期，其中所述时间周期指示所述装置周围的环境压力。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 微机 系统 装置 压力 测量 | ||
【主权项】：
一种用于测量压力的装置，其包括：至少一个包括由空间分离的两个层的元件，其中所述空间的尺寸在可变的时间周期中响应于施加在所述两个层上的电压而改变；以及测量模块，其经配置以测量所述时间周期，其中所述时间周期指示所述装置周围的环境压力。
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