[发明专利]衬底的声学镜上的压电声学谐振器的装置、用于制造该装置的方法以及该装置的应用

摘要

本发明涉及一种位于衬底的衬底表面上的至少一个压电声学谐振器的装置，其中所述谐振器具有至少一个压电层、电极和至少一个另外的电极，这些部件被彼此布置为使得对所述电极的确定电操控导致所述谐振器以一谐振频率谐振，所述衬底的衬底表面由集成在衬底中的用于使所述衬底和所述谐振器彼此声学绝缘的声学镜形成，并且存在至少一个用于确定所述谐振器的谐振频率的分析设备。该装置的特征在于，所述分析设备和至少一个所述电极通过电印制导线彼此导电连接，并且所述电印制导线被引导穿过所述声学镜的镜开口。所述声学镜优选地具有布拉格反射器，该布拉格反射器具有声阻抗不同的厚度为λ/4的层。在此，最上面的层由二氧化硅制成。该层也充当镜开口中的用于使印制导线和布拉格反射器的导电层彼此电绝缘的绝缘层。该装置可用作用于检测尤其是液体形式的流体物质的装置的物理换能器（生物传感器）。

主权项

一种位于衬底（12）的衬底表面（121）上的至少一个压电声学谐振器（10）的装置，其中－所述谐振器具有至少一个压电层（112）、电极（113）和至少一个另外的电极（114），这些部件被彼此布置为使得对所述电极的确定电操控导致所述谐振器以一谐振频率谐振；－所述衬底的衬底表面由集成在衬底中的用于使所述衬底和所述谐振器彼此声学绝缘的声学镜（14）形成；以及－存在至少一个用于确定所述谐振器的谐振频率的分析设备（13）；其特征在于，－所述分析设备和至少一个所述电极通过电印制导线（15）彼此导电连接；以及－所述电印制导线被引导穿过所述声学镜的镜开口（142）。