[发明专利]不规则表面的楔形压印图案形成

摘要

通过将弹性印模压按到抗蚀材料的薄层上来制造用于光伏和其他用途的图案化的衬底，所述材料覆盖衬底，诸如晶圆。该抗蚀体改变相态或变成可流动，从压印位置流出，显露该衬底，该衬底被经受一些成型工艺，通常为蚀刻。由该模印暴露的部分被去除，并且由该抗蚀体保护的部分被保留。典型的衬底是硅，并且典型的抗蚀体是蜡。工件纹理包括延伸的槽，分离的、分隔的凹坑，以及它们的组合和它们的中间体。可使用平板或旋转图案形成装置。粗糙的和不规则的工件衬底可通过延伸的印模元件而被调节。抗蚀体可以被首先施用到该工件，该印模，或实质上同时，在任一个的分离的位置中，或在任一个的整个表面上。当期望时，该抗蚀体完全地去湿润所述衬底。

主权项

一种将图案赋予衬底的方法，所述方法包括以下步骤：a.提供衬底和具有图案化的凸起的特征的可变形印模，其中所述印模具有小于10GPa的弹性系数；b.在所述印模和所述衬底之间的空间的至少一个区域中提供一旦加热到流动温度时变为可流动的材料；c.布置所述图案化的印模以接触由以下项构成的组中的至少一个：所述衬底和所述可流动的材料；d.将所述印模和衬底加热到所述材料的所述流动温度之上；e.冷却所述印模和衬底组件使得所述可流动的材料变为不可流动；f.收回所述印模以显露覆盖所述衬底的区域的图案化的材料，所述图案包括未被可流动的材料覆盖的衬底的至少一个开区域；以及g.使所述图案化的衬底经受至少一个随后的工艺步骤。