[发明专利]改进的研磨抛光机

摘要

一种改进的研磨抛光机，包括基座，所述基座具有碗状物，转动的驱动盘和适于支撑压盘的驱动盘驱动器。所述研磨抛光机包括头部，所述头部设置用于支撑样品支架。头部具有用于样品支架的旋转驱动的第一驱动器和用于移动样品架接近和远离驱动盘的第二驱动器。根据第一个方面，头部包括可操作地与第一驱动器连接的测压元件和可操作地与第二驱动器连接的计数器。计数器设置用于确定头部接近和远离驱动盘的移动和移动程度。具有控制系统。根据第二个方面，具有指状物，指状物可从可与样品支架一起转动的头部的部分延伸和缩回。根据第三个方面，具有用于与碗状物配合的可替换的碗状衬垫。在第四个方面，在头部设有照明设备。

主权项

一种改进的研磨抛光机，包括：基座，所述基座具有碗状物，转动的驱动盘和驱动盘驱动器，所述驱动盘适于支撑压盘；头部，所述头部设置成支撑样品支架并具有用于样品支架的转动驱动的第一驱动器，所述头部具有用于移动所述头部和所述样品支架接近和远离压盘的第二驱动器，所述头部包括测压元件，该测压元件可操作地与第一驱动器连接，和计数器，所述计数器设置用于确定头部接近和远离压盘的移动和移动程度；以及控制系统。