[发明专利]通过循环硅细粉来提高多晶硅反应器生产效率的方法无效
| 申请号： | 200980124574.7 | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN102076607A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | M·S·库尔卡尼;S·金贝尔;J·伊布拉希姆;V·雷万卡尔 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/029 | 分类号： | C01B33/029 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 林柏楠;彭立兵 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 制备多晶硅的方法，其包括将硅颗粒与可热分解硅化合物在反应室内反应。一部分可分解硅化合物分解成硅粉，该硅粉排出反应室并重新引入反应室。该排出的硅粉与硅颗粒聚结在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 循环 硅细粉来 提高 多晶 反应器 生产 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种制备多晶硅的方法，包括：将硅颗粒与可热分解硅化合物在反应室中接触以使硅沉积在硅颗粒上，随着硅的沉积硅颗粒的颗粒度增大，其中一部分可分解硅化合物分解以制备硅粉尘；将硅粉尘从反应室中排出；以及将至少一部分排出的硅粉尘引入反应室中，以使排出的硅粉尘与硅颗粒发生团聚。
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