[发明专利]辐射敏感树脂组合物、叠层体及其制造方法、以及半导体器件有效
| 申请号： | 200980124825.1 | 申请日： | 2009-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102076774A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 矶贝幸枝 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | C08L101/00 | 分类号： | C08L101/00;C08K5/00;C08L63/00;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种树脂组合物、在基板上叠层有由该树脂组合物形成的树脂膜的叠层体、以及包含该叠层体的半导体器件，其中，所述树脂组合物含有粘合剂树脂(A)、具有酸性基团的化合物(B)、有机溶剂(C)及化合物(D)，所述化合物(D)具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1种原子、并具有键合在该原子上的烃氧基或羟基，具有酸性基团的化合物(B)为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，且相对于粘合剂树脂(A)100重量份，化合物(B)和化合物(D)的总含量为10～50重量份。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感 树脂 组合 叠层体 及其 制造 方法 以及 半导体器件 | ||
【主权项】：
一种树脂组合物，其含有粘合剂树脂(A)、具有酸性基团的化合物(B)、有机溶剂(C)及化合物(D)，所述化合物(D)具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1种原子，并具有键合在该原子上的烃氧基或羟基，其中，上述具有酸性基团的化合物(B)为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，相对于上述粘合剂树脂(A)100重量份，上述化合物(B)和上述化合物(D)的总含量为10～50重量份。
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