[发明专利]具有高集成度的HBAR共振器

摘要

本发明涉及一种以预定工作频率进行操作的高块体声波共振器型共振器，包括：压电换能器(6)；声学衬底(10)；反电极(8)，由与换能器(6)的第一表面和声学衬底(10)的表面粘附的金属层形成；以及电极(4)，布置在换能器(6)的与换能器(6)的第一表面和衬底(10)远离的第二表面上。所述共振器的特征在于，换能器(6)和衬底(10)相对彼此布置，使得换能器(6)的切变模式的极化方向Pof与衬底(10)的至少一个切变模式的与第二切割角θ2相对应的极化方向Pof对准，衬底(10)的第二切割角θ2被设置以使得相应的一阶CTFB1的频率的温度系数是绝对值小于20ppm.K-1的局部极值，并且CTFB1相对于所述的θ2值的变化是微小的且绝对值小于20ppm.K-1/度。

主权项

1.一种以预定工作频率进行操作的高块体声波共振器型共振器，包括：压电换能器(6)，由具有第一厚度且具有沿着角φ定向的第一材料的层形成并沿着第一切割角θ1被切割，所述角φ由IEEE Std-176(1949年修订)标准的术语(YXw)/φ限定且等于零，所述第一切割角θ1由IEEE Std-176(1949年修订)标准的术语(YXl)/θ限定，使得仅该材料内的切变波的电声耦合大于5％，换能器(6)具有作为所述第一切割角θ1的函数的频率CTFA的温度系数，声学衬底(10)，由具有第二厚度且具有沿着角φ定向的第二材料的第二层形成并沿着第二切割角θ2被切割，所述第二材料具有至少等于5.10¹²的工作频率声学质量系数积，所述角φ由IEEE Std-176(1949年修订)标准的术语(YXw)/φ限定且等于零，所述第二切割角θ2由IEEE Std-176(1949年修订)标准的术语(YXl)/θ限定，声学衬底具有与振动的第一切变模式相对应的至少一个极化方向声学衬底(10)具有与至少一个切变模式相对应的一阶CTFB1的频率的温度系数并且取决于所述第二切割角θ2，反电极(8)，由与换能器(6)的第一表面和声学衬底(10)的表面粘附的金属层形成，电极(4)，布置在换能器(6)的与换能器(6)的第一表面和衬底(10)远离的第二表面上，其特征在于，换能器(6)和衬底(10)相对彼此布置，使得换能器(6)的切变模式的极化方向与衬底(10)的至少一个切变模式的与所述第二切割角θ2相对应的极化方向对准，并且衬底(10)的第二切割角θ2被设置以使得相应的一阶CTFB1的频率的温度系数是绝对值小于20ppm.K^-1的局部极值，并且CTFB1在该θ2值附近的变化是微小的且绝对值小于2ppm.K^-1/度。