[发明专利]辐射检测器和辐射检测方法有效
| 申请号： | 200980125800.3 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102084510A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 高桥宏平;菅野勉;酒井章裕;足立秀明 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;G01J1/02;G01J5/12;H01L35/22 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供辐射检测器和辐射检测方法。该辐射检测器是具有高检测灵敏度的辐射检测器。本发明的辐射检测器，包括：Al2O3基板；叠层在Al2O3基板上、CoO2面相对于Al2O3基板表面倾斜地排列的CaxCoO2薄膜(0.15＜x＜0.55)；配置在CaxCoO2薄膜上的第一电极；和位于上述CaxCoO2薄膜上的第二电极，该第二电极在上述CoO2面倾斜排列的方向上，配置在与第一电极相对的位置上，其中，上述Al2O3基板的表面为n面或S面。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 检测器 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种辐射检测器，其特征在于，包括：Al2O3基板；叠层在所述Al2O3基板上、CoO2面相对于所述Al2O3基板表面倾斜地排列的CaxCoO2薄膜，其中，0.15＜x＜0.55；配置在所述CaxCoO2薄膜上的第一电极；和位于所述CaxCoO2薄膜上的第二电极，该第二电极在所述CoO2面倾斜排列的方向上，配置在与所述第一电极相对的位置，其中，所述Al2O3基板的表面为n面或S面。
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