[发明专利]超韧单晶掺硼金刚石有效

专利信息
申请号: 200980125978.8 申请日: 2009-05-05
公开(公告)号: CN102084492A 公开(公告)日: 2011-06-01
发明(设计)人: 梁琦;严智秀;毛和光;罗素·赫姆利 申请(专利权)人: 华盛顿卡耐基研究所
主分类号: H01L31/0312 分类号: H01L31/0312
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 黄德海
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及具有至少约22MPa m1/2的韧度的单晶掺硼CVD金刚石。本发明进一步涉及制备单晶掺硼CVD金刚石的方法。该金刚石的生长速率可以是20-100μm/h。
搜索关键词: 超韧单晶掺硼 金刚石
【主权项】:
通过微波等离子体化学气相沉积生长的单晶掺硼金刚石,其具有至少约22MPam1/2的韧度。
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