[发明专利]复合氧化物烧结体、复合氧化物烧结体的制造方法、溅射靶及薄膜的制造方法有效
| 申请号： | 200980127221.2 | 申请日： | 2009-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN102089257A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 仓持豪人;尾身健治;市田正典;饭草仁志 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种复合氧化物烧结体，包含：金属氧化物粒子(a)，其具有六方晶系层状结构且含有氧化锌和铟；以及金属氧化物粒子(b)，其具有尖晶石结构且含有金属元素M(其中，M为铝和/或镓)；上述金属氧化物粒子(a)的长径平均值为10μm以下，以个数基准计的上述金属氧化物粒子(a)的20％以上粒子的长径比(长径/短径)为2以上。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 氧化物 烧结 制造 方法 溅射 薄膜 | ||
【主权项】：
一种复合氧化物烧结体，包含：金属氧化物粒子(a)，其具有六方晶系层状结构且含有氧化锌和铟；金属氧化物粒子(b)，其具有尖晶石结构且含有金属元素M，其中M为铝和/或镓；所述金属氧化物粒子(a)的长径平均值为10μm以下，以个数基准计，所述金属氧化物粒子(a)总体的20％以上粒子的长径比即长径/短径为2以上。
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