[发明专利]用于太阳热能和其它应用的管内及管外表面的涂覆方法

摘要

具有较小截面尺寸(如直径)的工件(60)居中地位于具有较大截面尺寸的工件(10)内，同时使所述工件电连接(62)。在一实施例中，两工件的表面可以用相同的涂覆材料或不同的涂覆材料同时地进行涂覆。在另一实施例中，孔口沿着内金属管件的长度来设置，其用作为气体分布注入器和阳极座。瓷衬可设置在内金属管件之内，而导线则在瓷衬之内。该内金属管件可外加偏压作为阴极，而内部导线则外加偏压作为阳极。空心阴极效应施加到与待涂覆表面邻接的所有空间。在若干应用中，于不同的电压下加偏压到待涂覆的不同表面。

主权项

一种涂覆至少一工件的至少一外表面的方法，所述方法包括以下步骤：提供具有多维内表面的腔体，所述多维内表面具有相对于所述腔体的轴线的特定几何形状；将所述至少一工件定位于所述腔体之内，以致于所述多维内表面和所述至少一外表面之间的间距沿着轴线方向大体上保持固定；以及制定条件以在所述内表面和所述至少一外表面之间的所述间距内维持空心阴极效应，从而限定空心阴极效应区，所述条件包括加偏压到在所述空心阴极效应区的相对端的阳极以及包括加偏压到所述内表面和每一所述工件以作为阴极，其中制定所述条件还包括向所述间距之内的等离子体加压。