[发明专利]掺杂氮的石英玻璃制造方法及适于其实施的石英玻璃粒子有效
| 申请号： | 200980128236.0 | 申请日： | 2009-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102099304A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | M.特罗默;S.奥赫斯;J.韦伯;W.沃德克;N.特拉格;H.莱贝尔 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B17/04 | 分类号： | C03B17/04;C03B19/01;C03B19/04;C03B19/09;C03B20/00;C03B19/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;梁冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 石英玻璃 制造 方法 适于 实施 粒子 | ||
【主权项】：
一种用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法，其中制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃，其特征在于，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm‑3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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