[发明专利]用于测试电性能的多点探针以及生产多点探针的方法

摘要

用于对测试样本的多个特定位置进行电性能测试的多点探针包括用于限定第一表面的支撑体，多个第一导电探针臂(101-101”’)，每个探针臂定义了近端和远端。探针臂在近端连接至支撑体(105)，远端从支撑体自由延伸，使探针臂独立弯曲运动。每个探针臂定义了垂直于其垂直平分线并平行于它和支撑体的接触线的最大宽度，以及垂直于其垂直平分线和其与支撑体的接触线的最大厚度。每个探针臂在其远端具有特定区域或接触点(111-111”’)，用于接触测试样本的多个特定位置中的一个特定位置。至少一个探针臂具有用于限定尖形远端的延伸部，该尖形远端用于提供相对于探针臂的垂直平分线偏移的探针臂的特定区域或接触点。

主权项

一种用于对测试样本的多个特定位置进行电性能测试的多点探针，所述多点探针包括：(a)限定第一表面的支撑体；(b)多个第一导电探针臂，每个所述探针臂定义了近端和远端，所述探针臂在所述近端连接至所述支撑体，并且所述远端从所述支撑体自由延伸，使所述探针臂独立柔性运动；所述探针臂和所述支撑体一起限定每个所述探针臂和所述支撑体之间的接触线，每条所述接触线限定了与所述第一表面平行的垂直平分线；(c)所述导电探针臂源自生产所述多点探针的工艺，其中该工艺包括在支撑晶片体上产生与所述支撑晶片体正面接触的所述导电探针臂，并移除所述晶片体的一部分，其中该晶片体的一部分提供所述支撑体，并提供从所述支撑体自由延伸的所述导电探针臂；(d)每个所述探针臂限定了与其垂直平分线垂直并与其和所述支撑体的接触线平行的最大宽度，以及与其垂直平分线和其与所述支撑体的接触线垂直的最大厚度，所述最大宽度与所述最大厚度的比例限定在0.5‑20的范围内，例如1‑10，优选1‑3，每个所述探针臂在其远端具有特定区域或接触点，用于接触所述测试样本的所述多个特定位置中的一个特定位置；以及(e)至少一个所述探针臂具有用于限定尖形远端的延伸部，该延伸部提供相对于所述探针臂的垂直平分线偏移定位的所述探针臂的特定区域或接触点。