[发明专利]用于高生产量原子层沉积的设备和方法

摘要

一种用于以连续方式沉积膜的原子层沉积设备。本设备包括向下倾斜的加工隧道，其在运输方向上延伸并且由至少两个隧道壁限定。这两个壁都具有多个气体注入通道，由此在运输方向上观看，至少一个壁中的气体注入通道分别相继连接到第一前体气体源、净化气体源、第二前体气体源和净化气体源，以形成这样的隧道区段，在使用中该隧道区段包括分别装有第一前体气体、净化气体、第二前体气体和净化气体的连续区域。加工隧道的向下坡度使得重力能够将受到浮动支撑的衬底驱动通过连续区段，导致膜原子层沉积到衬底上。

主权项

一种原子层沉积设备(100)，包括：加工隧道，所述加工隧道沿运输方向(104)延伸，并且至少由第一下部壁(110)和第二上部壁(120)限定，所述壁相互平行并且隔开，以允许平行于所述壁定向的基本平的衬底(130)容纳在它们之间；多个气体注入通道(112、122)，设置在所述加工隧道的所述第一壁和所述第二壁中，并以隔开方式沿所述运输方向布置，由此所述第一下部壁中的气体注入通道(112)被构造成提供第一下部气体支承(113)，而所述第二上部壁中的气体注入通道(122)被构造成提供第二上部气体支承(123)，所述气体支承被构造成浮动地支持并容纳衬底；其中，在所述运输方向上观看，所述第一壁和所述第二壁中的至少一个壁中的气体注入通道相继连接到第一前体气体源、净化气体源、第二前体气体源和净化气体源，以形成隧道区段，在使用中所述隧道区段包括分别包含第一前体气体、净化气体、第二前体气体和净化气体的连续区域，其中，两个或两个以上的这样的隧道区段在所述运输方向上连续地布置，并且其中，在所述运输方向上观看，所述加工隧道的至少一部分具有向下的坡度(α)，从而实现通过所述至少一个加工隧道部分进行衬底的重力驱动运输。