[发明专利]薄膜半导体基板及其制造装置无效
| 申请号： | 200980128840.3 | 申请日： | 2009-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN102224535A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 大槻重义;江口敏正;中正敏;竹知和重;大内洁 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社;日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00;G02F1/13;G02F1/1333;G09F9/33 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | (课题)能够进行平板显示器的大量生产，并且保管、搬运容易且便宜。(解决手段)一种与塑料基板对置并进行组合从而用于做出平板显示器的薄膜半导体基板，由具有薄膜半导体阵列(3)的单板状的绝缘基板(4)在纵长状的塑料膜(2)上连续贴合而得到。一种制造用于与塑料基板对置并进行组合从而做出平板显示器的薄膜半导体基板的装置，具有：贴合部(20)，将贴合有用于保护薄膜半导体阵列(3)的保护膜(5)的单板状的绝缘基板(4)在纵长状的塑料膜(2)上进行连续贴合；剥离部(30)，通过加热或者紫外线照射将保护膜(5)剥离；层压部(40)，在纵长状的塑料膜(2)上层压纵长状的保护膜(6)来保护薄膜半导体阵列(3)；和卷绕部(50)，将层压有纵长状的保护膜(6)的纵长状的塑料膜(2)卷绕为辊状。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 半导体 及其 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜半导体基板，用于与塑料基板对置并组合来制作平板显示器，其特征在于：该薄膜半导体基板由具有薄膜半导体阵列的单板状的绝缘基板在纵长状的塑料膜上进行连续贴合而得。
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