[发明专利]高温静电卡盘和使用方法有效
| 申请号： | 200980128987.2 | 申请日： | 2009-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102105253A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 罗纳德·纳斯曼;罗德尼·李·罗宾森;藤里敏章 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B23B31/28 | 分类号： | B23B31/28 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明描述了一种为高温减压处理所构造的静电卡盘。静电卡盘包括具有静电夹紧电极和可选加热元件的卡盘主体，和具有传热表面的散热器主体，所述传热表面被布置为与卡盘主体的内表面呈密切关系，其中静电夹紧电极被构造为将衬底夹紧在卡盘主体的外表面上，并且其中由于内表面和传热表面的密切关系，散热器主体被构造为从卡盘主体移除热量。静电卡盘还包括构造为支撑卡盘主体和散热器主体的平台组件，和膨胀接头，所述膨胀接头设置在卡盘主体和平台组件之间，并且被构造为在适应卡盘主体和平台组件的差异热膨胀的同时将卡盘主体密封连接到平台组件。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 静电 卡盘 使用方法 | ||
【主权项】：
一种构造用于衬底处理的静电卡盘，其包括：卡盘主体，其包括静电夹紧电极和可选加热元件，其中所述静电夹紧电极被构造为将衬底夹紧在所述卡盘主体的外表面上；散热器主体，其包括传热表面，所述传热表面被布置与所述卡盘主体的内表面呈密切关系，其中由于所述内表面与所述传热表面的密切关系，所述散热器主体用于从所述卡盘主体移除热量；平台组件，其被构造为支撑所述卡盘主体和所述散热器主体；和膨胀接头，其设置在所述卡盘主体和所述平台组件之间，并且被构造为在适应所述卡盘主体和所述平台组件的差异热膨胀的同时将所述卡盘主体密封连接到所述平台组件。
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