[发明专利]电解铜涂层及其制造方法,用于制造电解铜涂层的铜电解液无效

专利信息
申请号: 200980130275.4 申请日: 2009-06-12
公开(公告)号: CN102105622A 公开(公告)日: 2011-06-22
发明(设计)人: 斋藤贵广;铃木裕二;伊内祥哉;西川哲治 申请(专利权)人: 古河电气工业株式会社;石原药品株式会社
主分类号: C25D1/04 分类号: C25D1/04;C25D1/00;C25D3/38
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 项丹;周承泽
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的一个目的是提供一种电解铜涂层,与辊轧铜箔相比,该涂层在经历线路板制造过程中的热历程之后,尤其在等同于粘合聚酰亚胺薄膜时施加的热历程之后,具有相同的或更好的可弯曲性和挠性。本发明提供电解铜涂层及其制造方法,其中,当进行热处理使等式1所示的LMP值成为大于或等于9000时,结果达到一定的晶粒分布,热处理后大于或等于70%的晶粒的最大长度大于或等于10微米:等式1:LMP=(T+273)*(20+Logt)其中,20是铜材料常数,T是温度(℃),t是时间(小时)。
搜索关键词: 电解铜 涂层 及其 制造 方法 用于 电解液
【主权项】:
一种通过电解沉积制备的电解铜涂层,其中,当进行热处理时使等式1所示的LMP(纳森‑米勒参数)值成为大于或等于9000时,结果达到一晶粒分布,热处理后大于或等于70%的晶粒的最大长度大于或等于10微米:等式1:LMP=(T+273)*(20+Logt)其中,20是铜材料常数,T是温度(℃),t是时间(小时)。
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