[发明专利]氧化铝颗粒以及包含该氧化铝颗粒的抛光组合物有效
| 申请号： | 200980130486.8 | 申请日： | 2009-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102105266A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 森永均;田原宗明;松波靖 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304;C01F7/02 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人： | 段迎春 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供包含一次颗粒的氧化铝颗粒，其一次颗粒每个具有六面体形状及1至5的纵横比。所述氧化铝颗粒优选地具有0.01至0.6μm的平均一次粒径。所述氧化铝颗粒优选地具有5％至70％的α-转化率。此外，所述氧化铝颗粒优选地具有0.01至2μm的平均二次粒径，并且氧化铝颗粒的90％粒径除以氧化铝颗粒的10％粒径所得值优选等于或小于3。所述氧化铝颗粒可用作，例如，对半导体器件基板、硬盘基片、或显示器基板进行抛光的用途中的磨粒。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝 颗粒 以及 包含 抛光 组合 | ||
【主权项】：
一种氧化铝颗粒，其特征在于，其一次颗粒各具有六面体形状及1至5的纵横比。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福吉米株式会社，未经福吉米株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980130486.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
