[发明专利]制造Al2O3陶瓷弹性体的方法、压力传感器的测量膜和具有这种膜的压力传感器

摘要

本发明涉及一种制造由Al2O3陶瓷制成的弹性变形体的方法；应用高纯氧化铝，其具有至多2000ppm MgO，至多200ppm无机杂质，该高纯氧化铝的比表面积至少为10m2/g，平均晶粒大小至多为0.3μm；其中使用所述氧化铝和添加剂，通过水性处理制得均质混合物，其中从该均质混合物制备可压制喷雾粒料，其中通过单轴压制方法将所述喷雾粒料成形为均质生坯，使该生坯经历烧结步骤，其中得到的弹性变形体具有弯曲断裂应力σc，其分布F(σc)由威布尔参数给出，σ0≥800MPa和m≥24，其中所述烧结材料的平均晶粒大小不大于2μm，并且其中所述变形体的烧结材料具有的密度不低于3.98g/cm3。

主权项

一种通过应用氧化铝制造由Al2O3陶瓷制成的弹性变形体的方法，其中所述氧化铝，其包括在给定情况下存在的MgO组分，所述氧化铝具有的纯度为至少99.8％，优选99.9％，并且其中相对于Al2O3的质量，MgO合计不超过2000ppm，优选不超过1000ppm，其中相对于Al2O3的质量，所述氧化铝具有的SiO2、Na2O、K2O、CaO和其它无机杂质的杂质含量总计低于200ppm，优选低于100ppm，其中所述氧化铝具有的比表面积不低于10m2/g，其中所述氧化铝在累积50质量％下的晶粒大小d50不超过0.3μm，其中，使用氧化铝以及有机添加剂和在给定情况下的无机添加剂，通过水性处理制得均质混合物，其中相对于Al2O3的质量，所述混合物含有最高达2000ppm的MgO，优选不超过1000ppm的MgO，其中相对于Al2O3的质量，所述混合物含有不低于200ppm的MgO，优选不低于400ppm的MgO，其中相对于Al2O3的质量，所述混合物具有的SiO2、Na2O、K2O、CaO和其它无机杂质的杂质含量总计低于200ppm，优选低于100ppm，其中从该混合物制备可压制喷雾粒料，其中然后通过单轴压制方法将所述喷雾粒料成形为均质生坯，其中使所述生坯经单级或多级烧结步骤，其中所得到的弹性变形体具有弯曲断裂应力σc，其分布F(σc)由威布尔参数给出，σ0≥800MPa，优选σ0≥850Mpa，和m≥24，其中所述变形体的烧结材料的平均晶粒大小为不大于2μm，优选不大于1μm，其中所述平均晶粒大小被确定为横截面分布的中值，和其中所述变形体的烧结材料具有的密度不低于3.98g/cm3。