[发明专利]背面照明型图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种从晶片背面照射光的背面照明型图像传感器及其制造方法。为此，本发明提供的背面照明型图像传感器包括：光接收元件，形成在第一基板中；层间绝缘层，形成在包括光接收元件的第一基板上；通孔，与光接收元件间隔开且形成为穿过层间绝缘层和第一基板；间隙壁，形成在通孔的内壁上；对准件，形成为容纳在通孔中；配线层，在层间绝缘层上形成为多个层，且该多个层的最底层的背表面连接到对准件；保护层，形成为覆盖配线层；焊垫，局部地形成在第一基板的背表面上且连接到对准件的背表面；以及滤色器和微透镜，对应于光接收元件形成在第一基板的背表面上。

主权项

一种背面照明型图像传感器，包括：光接收元件，形成在第一基板中；层间绝缘层，形成在包括所述光接收元件的所述第一基板上；通孔，形成为穿过所述层间绝缘层和所述第一基板并且与所述光接收元件间隔开；间隙壁，形成在所述通孔的内侧壁上；对准件，填充所述通孔；互连层，以多层结构形成在所述层间绝缘层上，在该多层结构中所述互连层的最底层的背面连接到所述对准件；钝化层，覆盖所述互连层；焊垫，局部地形成在所述第一基板的背面上且连接到所述对准件的背面；以及滤色器和微透镜，对应于所述光接收元件而形成在所述第一基板的所述背面上。