[发明专利]基材处理设备和在该设备中转移基材的方法

摘要

本发明提供一种基材处理设备，其包括将基材装载到储存件和从其中取出基材的转移件以及控制该转移件的控制单元。该转移件包括多个转移臂和水平移动各转移臂的臂驱动部，基材被装载在各转移臂上。该控制单元控制该转移件的运动速度和位置并比较各转移臂的运动速度变化，从而控制各转移臂的运动速度。因此，同时被驱动的转移臂同时到达目标点，所以该基材处理设备缩短了转移时间并提高了生产性。

主权项

一种基材处理设备，包括：储存件，沿垂直方向排列多个基材并储存基材；转移件，包括沿垂直方向彼此面对的多个转移臂和臂驱动部，所述臂驱动部设置在所述转移臂下方并与所述转移臂连接，用于水平移动各转移臂，基材被装载在各转移臂上，所述转移件从所述储存件取出至少一个基材和向其中装载至少一个基材；以及控制单元，控制所述转移件的运动速度和位置并控制所述臂驱动部，使得至少两个转移臂同时到达在所述储存件中的目标点，其中所述控制单元将与被同时控制的各转移臂的目标点对应的各预期速度变化作比较，从而控制各转移臂的运动速度。