[发明专利]音叉振荡器和其制造方法以及角速度传感器

摘要

本发明提供一种音叉振荡器和其高效的制造方法，压电振荡器(70、72)包含具有基台部(74)和脚部(76a、76b)的音叉型的振动体(78)。另外，压电振荡器(70、72)作为两个压电体基板(80、82)、中间电极(84)、表面电极(86、88、90)及全面电极(94)的层叠体形成。表面电极(86、88、90)由从基台部(74)向脚部(76a、76b)延伸的分割部(92a、92b)分割。与电路基板的连接部分的分割部(92a、92b)的宽度形成为比其它部分的分割部(92a、92b)的宽度宽。分割部(92a、92b)通过将在用于构成振动体(78)的压电体板上的全面上形成的电极用切割机切割或激光照射及蚀刻进行分割而形成。从而使得在电路基板上安时的绝缘可靠性好，且振荡器灵敏度高，S/N比良好。

主权项

一种音叉振荡器，其特征在于，包括：音叉型的振动体，其包含压电体基板，且具有基台部、和以从所述基台部平行地延伸的方式形成的脚部；以及三个表面电极，其在所述振动体的一个主面上从所述基台部向所述脚部延伸而形成，且在所述基台部连接于电路基板，所述三个表面电极由从所述基台部向所述脚部延伸的分割部所分割，使至少位于与所述电路基板连接的连接部的所述分割部的宽度比所述脚部的所述分割部的宽度宽。