[发明专利]具有可移动屏蔽件的涂布室无效
| 申请号： | 200980133508.6 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102131955A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·沃尔夫;拉尔夫·林德伯格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及操作涂布室的方法以及一种涂布室，该涂布室包括：涂布源；传输装置，其用于将适合于承载要被涂布的衬底的衬底支架相对于涂布源移动到至少一个涂布位置中，使得衬底可以被涂布；以及至少一个第一屏蔽件，其设置在衬底的涂布位置与涂布源之间的区域中，以防止除了要被涂布的衬底的表面之外的区域受到涂布，其中，第一屏蔽件包括移动设备和用于将第一屏蔽件与衬底支架相连接的连接设备，使得第一屏蔽件和衬底支架可以一同移动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 屏蔽 涂布室 | ||
【主权项】：
一种涂布室，包括涂布源，传输装置，其用于将适合于能够承载要被涂布的衬底的衬底支架相对于所述涂布源移动到至少一个涂布位置中，使得所述衬底可被涂布，以及至少一个第一屏蔽件，其设置在所述衬底的涂布位置与所述涂布源之间的区域中，以防止除了要被涂布的所述衬底的表面之外的区域受到涂布，其中，所述第一屏蔽件包括移动设备和用于将所述第一屏蔽件与所述衬底支架相连接的连接装置，使得所述第一屏蔽件和所述衬底支架可一同移动。
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