[发明专利]连续成膜装置

摘要

本发明提供一种送出单元、卷取单元的更换作业较容易的连续成膜装置。该连续成膜装置具备真空腔室(1)、成膜辊(2)、对卷挂在其上的被成膜材从侧方供给成膜物质的蒸发源(7L1、7L2、7R)、和将上述被成膜材对上述成膜辊(2)供给的送出单元(3)及将成膜后的被成膜材卷取的卷取单元(4)。真空腔室(1)具有用于蒸发源的送入及送出的蒸发源用开口、将其开闭的蒸发源用门部(16L、16R)、与上述蒸发源用开口另外地设置的用于送出单元(3)及卷取单元(4)的送出及送入的被成膜材用开口、和将其开闭的被成膜材用门部(17L、17R)。

主权项

一种连续成膜装置，在被成膜材的表面上生成由成膜物质构成的膜，具备：真空腔室；成膜辊，能够旋转地设在该真空腔室内，上述被成膜材卷挂在该成膜辊的周围；该成膜物质的蒸发源，用来对卷挂在上述成膜辊上的被成膜材供给并堆积成膜物质；送出单元，在上述真空腔室内能够旋转地配置在上述成膜辊的上方，将上述被成膜材供给到上述成膜辊上；卷取单元，在上述真空腔室内能够旋转地配置在上述成膜辊的上方，卷取成膜后的被成膜材；上述真空腔室具有用于将该真空腔室内的上述蒸发源送入和送出的蒸发源用开口、将该蒸发源用开口开闭的蒸发源用门部、设在与上述蒸发源用开口不同的位置上而用于将上述真空腔室内的上述送出单元及上述卷取单元送入和送出的被成膜材用开口、和与上述蒸发源用门部另外地设置而将上述被成膜材用开口开闭的被成膜材用门部。