[发明专利]沉积材料的方法有效
| 申请号： | 200980133621.4 | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102131952A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | J·A·扬森斯;G·范德艾克尔;J·M·德克斯;J·J·布鲁克玛特;P·特里勒 | 申请（专利权）人： | 索尔玛特斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王会卿 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种沉积靶材料(3)至样品(2)的表面的方法，该方法包括以下步骤：通过用激光束或电子束(7)照射靶表面来生成靶材料粒子的羽焰(9)；放置样品(2)至羽焰附近，以使得靶材料粒子沉积到样品的表面上；绕着垂直于沉积粒子的样品表面的旋转轴线(1)旋转样品；沿着靶表面移动激光束，以使得羽焰相对于旋转轴线沿径向移动；以可变的频率来脉冲调制激光束。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 材料 方法 | ||
【主权项】：
一种沉积靶材料至样品的表面上的方法，所述方法包括以下步骤：‑通过用激光束或电子束照射靶表面以生成靶材料粒子的羽焰；‑放置所述样品至所述羽焰附近，以使得所述靶材料粒子沉积到所述样品的表面上；其特征在于：‑绕着垂直于沉积粒子的所述样品的表面的旋转轴线旋转所述样品；‑沿着所述靶表面移动所述激光束，以使得所述羽焰相对于所述旋转轴线沿径向移动；‑以可变的频率来脉冲调制所述激光束。
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