[发明专利]于激光加工系统中的适合的光学光束整型

摘要

本发明揭示一种激光加工系统，其会针对一特殊的应用(或是该应用的子集)来快速且弹性地修正一加工光束，以便决定且施行一经改良或最佳的光束轮廓。该系统会降低光束整型子系统受到激光加工系统中的变异影响的敏感性，其包含因为下面所造成的变异：制造公差、热漂移、构件效能变异以及其它系统变异源。特定实施例还会调变较低质量的激光束(有较高的M2数值)来提供可接受的经过整型的光束轮廓。

主权项

一种利用具有经过选择性整型的空间强度轮廓的激光束来加工一工件的方法，其特征在于，该方法包括：让该工件的第一部分和第一组加工特征产生关联并且让该工件的第二部分和第二组加工特征产生关联；让第一空间强度轮廓和第一组加工特征产生关联并且让第二空间强度轮廓和第二组加工特征产生关联，该等第一和第二空间强度轮廓对应于实质上入射在一物镜的聚焦平面上的输出激光束的个别形状；调变一输入激光束的相位与振幅中至少其中一者，用以产生一具有第一空间强度轮廓的输出激光束，其中，该调变是由一或多个适合的光学组件来实施；利用该具有第一空间强度轮廓的输出激光束来加工该工件的第一部分；藉由使用该等一或多个适合的光学组件来调整该输入激光束的调变作用而在预设的切换时间内从该输出激光束的第一空间强度轮廓动态地切换至该输出激光束的第二空间强度轮廓；以及利用该具有第二空间强度轮廓的输出激光束来加工该工件的第二部分。