[发明专利]电容性微机械加工的超声换能器

摘要

本申请公开了一种电容性微机械加工的超声换能器，其包括：硅衬底；腔；第一电极，其被布置在硅衬底和腔之间；其中，第一电极被布置在腔之下；膜，其中，膜被布置在腔之上并且与第一电极相对；第二电极，其中，第二电极被布置在腔之上并且与第一电极相对；其中，第二电极被布置在膜内或靠近膜，其中，第一电极和第二电极适于由电压供应；以及第一隔离层，其被布置在第一电极和第二电极之间，其中，第一隔离层包括电介质。还描述了用于生成或检测超声波的系统，其中，该系统包括根据本申请的换能器。此外，公开了一种用于制造根据本申请的换能器的方法，其中，借助于CMOS制造工艺制造换能器，其中，可以按照CMOS工艺期间的后处理特征制造换能器。

主权项

一种电容性微机械加工的超声换能器，包括硅衬底(209)；腔(205)；第一电极(207)，其被布置在所述硅衬底(209)和所述腔(205)之间；其中，所述第一电极(207)被布置在所述腔(205)之下；膜，其中，所述膜被布置在所述腔(205)之上，并与所述第一电极(207)相对；第二电极(203)，其中，所述第二电极(203)被布置在所述腔(205)之上，并与所述第一电极(207)相对；其中，所述第二电极(203)被布置在所述膜中或靠近所述膜，其中，所述第一电极(207)和所述第二电极(203)适于由电压供应；以及第一隔离层(204)，其被布置在所述第一电极(207)和所述第二电极(203)之间，其中，所述第一隔离层(204)包括电介质。