[发明专利]宽带离子束产生用的高密度螺旋等离子源

摘要

一种利用一个或多个螺旋等离子源以产生高密度宽带离子束的离子源。除了螺旋等离子源之外，离子源还包括一扩散室。扩散室具有一与螺旋等离子源的介电圆柱体的轴向同方向配置的提取孔径。在一实施例中，双螺旋等离子源位于扩散室的相对两端，用以产生一更均匀地被提取的离子束。在另一实施例中，一个多尖端的磁场用以进一步改善被提取的离子束的均匀性。

主权项

一种离子源，包括：a.一第一螺旋等离子源，包括：i.一第一介电圆柱体，具有第一中心轴，一第一封闭端以及一第一开放端；ii.一第一磁铁，环绕于该第一介电圆柱体，适于产生一磁场于该中心轴的方向上，并面对于该第一介电圆柱体的该开放端；以及iii.一第一天线，位于该第一介电圆柱体内并能产生螺旋波；b.一第二螺旋等离子源，包括：i.一第二介电圆柱体，具有第二中心轴，一第二封闭端以及一第二开放端；ii.一第二磁铁，环绕于该第二介电圆柱体，适于产生一磁场于该中心轴的方向上，并面对于该第二介电圆柱体的该开放端；以及iii.一第二天线，位于该第二介电圆柱体内并能产生螺旋波；c.一用来定义扩散室的腔体，包括第一端及第二端，其中该扩散室的第一端是与该第一介电圆柱体的该开放端相通，而该扩散室的第二端是与该第二介电圆柱体的该开放端相通，且一提取孔径具有一较第二尺寸长很多的尺寸，其中该较长的尺寸平行于该第一介电圆柱体的中心轴。