[发明专利]使用直接图案化的无针孔掩膜层制作太阳能电池的方法有效
| 申请号： | 200980136212.X | 申请日： | 2009-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN102160192A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 彼得·卡曾斯;阮信晓 | 申请（专利权）人： | 太阳能公司 |
| 主分类号： | H01L31/042 | 分类号： | H01L31/042 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 陈源;张天舒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制作太阳能电池的方法。该方法包括首先提供在其上布置有电介质层的基板。然后在该电介质层之上形成无针孔掩膜层。最后，不使用掩膜，对该无针孔掩膜层进行图案化，以形成图案化的无针孔掩膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 直接 图案 针孔 掩膜层 制作 太阳能电池 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制作太阳能电池的方法，包括：提供在其上布置有电介质层的基板；在所述电介质层之上形成无针孔掩膜层；在不使用掩膜的情况下，对所述无针孔掩膜层进行图案化，以形成图案化的无针孔掩膜层，其中在图案化期间，所述电介质层保护所述基板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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