[发明专利]静电吸盘有效
| 申请号： | 200980136283.X | 申请日： | 2009-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102160165A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 辰己良昭;藤泽博 | 申请（专利权）人： | 创意科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H02N13/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种电力自给型的静电吸盘(8)，能够在基板的处理中进行发电并且供给吸附电极(3)所使用的电力。该静电吸盘(8)在产生光能而处理基板的基板处理装置(11)中吸附保持基板，其特征在于，具有：具备吸附电极(3)的电极片(5)、在上表面侧层叠电极片(5)的金属基盘(1)、得到供给吸附电极(3)的电力的内部电源、以及对由内部电源得到的电力的电压进行升压的升压电路(7)，内部电源为太阳能电池(6)，在基板的处理中将光能转换为电力而使电极片(5)吸附保持基板。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 | ||
【主权项】：
一种静电吸盘，在产生光能而处理基板的基板处理装置中吸附保持基板，其特征在于，具有：具备吸附电极的电极片、在上表面侧层叠电极片的金属基盘、得到供给吸附电极的电力的内部电源、以及对由内部电源得到的电力的电压进行升压的升压电路，内部电源是太阳能电池，在基板的处理中将光能转换为电力而使电极片吸附保持基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
