[发明专利]具有温控装置的光学组件有效
申请号: | 200980136722.7 | 申请日: | 2009-09-14 |
公开(公告)号: | CN102159979A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 阿明·舍帕克;蒂莫·劳弗 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B7/18 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种温控装置(19)被用于控制具有其温度要被控制的至少一个光学体(17)的光学组件(16)的温度,所述至少一个光学体(17)具有可以通过热流(39)对其作用的至少一个表面(18)。所述温控装置(19)具有热沉(20),用于接收从所述光学体(17)或与所述光学体(17)热连接的传输体发射的热流(21)。所述热沉(20)被布置为与所述光学表面(18)的边缘区域(22)相邻。所述温控装置(19)具有加热机构(28),加热机构(28)具有至少一个加热体(29),至少一个加热体(29)与所述光学体(17)相邻布置。所述加热体(29)经由物理热桥(32)连接到所述热沉(20)。 | ||
搜索关键词: | 具有 温控 装置 光学 组件 | ||
【主权项】:
用于具有其温度要被控制的至少一个光学体(17)的光学组件(16)的温控装置(19),所述至少一个光学体(17)具有可以通过热流(39)对其作用的至少一个表面(18),所述温控装置(19)‑具有热沉(20),所述热沉接收从所述光学体(17)或与所述光学体(17)热连接的传输体发射的热流(21),‑其中,所述热沉(20)被布置为与所述光学表面(18)的边缘区域(22)相邻,‑具有加热机构(28),其校正所述光学体(17)的变形并具有至少一个加热体(29),所述至少一个加热体(29)被布置为与所述光学体(17)相邻,‑其中,所述加热体(29)通过物理热桥(32)连接到所述热沉(20),且所述加热体(29)的温度大于或等于所述热沉(20)的温度。
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