[发明专利]圆筒形溅镀靶及其制造方法有效
| 申请号： | 200980137565.1 | 申请日： | 2009-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102165092A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 伊藤谦一;玉野公章;户床茂久;渋田见哲夫 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种圆筒形溅镀靶，即使在利用由多个圆筒形靶材构成的长条状圆筒形溅镀靶来溅镀成膜时，成膜步骤的制造成品率也很高。其是利用接合材料将堆叠的多个圆筒形靶材接合在圆筒形基体材料的外周面而形成的，其中，相邻的圆筒形靶材间具有间隔并且配置有分割部，且位于分割部的相邻圆筒形靶材外周面的段差为0.5mm以下。此种靶材是通过以下方式制造而获得的：在以圆筒形基体材料作为基准来配置圆筒形靶材时，将圆筒形靶材的外周面作为基准来固定圆筒形靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 形溅镀靶 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种圆筒形溅镀靶，其是利用接合材料将堆叠的多个圆筒形靶材接合在圆筒形基体材料的外周面而形成的，其中，相邻的圆筒形靶材间具有间隔并且配置有分割部，且相邻圆筒形靶材的外周面在分割部的高低平面的差异为0.5mm以下。
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