[发明专利]有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法有效
| 申请号： | 200980138390.6 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102165090A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | S·海恩;G·霍夫曼;P·斯库克 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。该蒸发器包括：一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近于该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖；及一挡门，该挡门用于选择性开启及关闭该喷嘴盖的该开口，其中该挡门被适配成在操作该蒸发管时具有在140℃的挡门温度范围内的温度，以使得该喷嘴盖的温度在该挡门温度范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 蒸发器 蒸发 方法 | ||
【主权项】：
一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器，包含：蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其配置以加热该蒸发管；该蒸发管具有至少一个喷嘴组件，其中该壁的平均热导率约为200W/m·K或更高，该壁的厚度为6mm或更高。
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