[发明专利]用于获得重合片材参数的基于时域频谱（TDS）的方法和系统有效
| 申请号： | 200980138678.3 | 申请日： | 2009-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN102171549A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | F.M.哈兰;P.穆萨维;D.耶斯;S.多奇 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔阿斯卡公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;王洪斌 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 一种用于在由制造系统（700）生产时的片材的性质的非接触表征的现场的基于时域频谱（TDS）的方法（200）。提供时域频谱系统（100）和用于系统（100）的校准数据。校准数据包括作为片材的含湿量的函数的、通过片材透射的功率或者从片材反射的功率的数据。将来自透射机（111）的THz或近THz辐射的至少一个脉冲引导至正由制造系统（700）处理的片材样本（130）上的样本位置处。由检测器（110）同步检测与来自样本位置的至少一个透射脉冲或反射脉冲相关联的透射辐射或反射辐射以获得样本数据。连同校准数据（207、208、209）一起处理作为重合数据的样本数据以确定选自片层厚度、基重和含湿量的片材样本（130）的至少一个性质并且通常是多个性质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 获得 重合 参数 基于 时域 频谱 tds 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于由制造系统（700）生产的片材的性质的非接触表征的现场的基于时域频谱（TDS）的方法（200），包括：提供时域频谱系统（100）和用于所述系统的校准数据，所述校准数据包括作为所述片材的含湿量的函数的、通过所述片材透射的功率或场或者从所述片材反射的功率或场；将具有0.05 THz和50 THz之间的频率的THz或近THz辐射的至少一个脉冲引导至正由所述制造系统（700）处理的片材样本（130）上的样本位置处；同步检测包括来自所述样本位置的至少一个透射脉冲或反射脉冲的透射辐射或反射辐射以获得样本数据；以及连同所述校准数据（207、208、209）一起处理所述样本数据以确定选自片层厚度、基重和含湿量的所述片材样本的至少一个性质。
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