[发明专利]用于传送基板承载器的传送器组件和方法有效
| 申请号： | 200980139046.9 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN102171116A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·雷尼尔·弗朗西斯卡·克雷尔克斯;恩斯特·杜勒梅杰尔;弗朗西斯库斯·科尔内留斯·丁斯 | 申请（专利权）人： | OTB太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;C23C14/58;C23C16/56;H01L21/00;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适于在基板加工系统(800)中使用的传送器组件(100)，所述传送器组件包括：具有基板承载表面(109)的至少一个基板承载器(108)，所述基板承载表面用于支撑至少一个基板；加工轨道；返回轨道；用于沿着加工轨道和返回轨道驱动基板承载器(108)的驱动系统；和至少一个旋转单元(500)，所述旋转单元被构造成使基板承载器(108)绕大体水平的轴线从第一定向旋转至第二定向，和/或反之亦然。本发明还提供了一种用于传送基板承载器(108)的方法，所述方法包括：提供基板承载器(108)；将基板承载器(108)设置在第一定向中；沿着第一轨道传送基板承载器(108)；和使基板承载器(108)绕大体水平的轴线旋转至第二定向。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传送 承载 组件 方法 | ||
【主权项】：
一种适于用在基板加工系统(800)中的传送器组件(100)，所述传送器组件(100)包括：至少一个基板承载器(108)，所述基板承载器(108)具有用于支撑至少一个基板的基板承载表面；加工轨道；返回轨道；驱动系统(112、114、116)，用于沿着加工轨道和返回轨道驱动基板承载器；其特征在于，所述传送器组件进一步包括：至少一个旋转单元(500)，所述旋转单元被构造成使基板承载器绕大体水平的轴线从第一定向旋转至第二定向，和/或反之亦然。
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