[发明专利]用于制造速度传感元件的方法有效
| 申请号： | 200980139136.8 | 申请日： | 2009-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN102171016A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | A·卡拉斯;D·胡贝尔;J·席林格;E·德沃尔德;M·瓦特兹拉维克 | 申请（专利权）人： | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | B29C45/14 | 分类号： | B29C45/14;G01D11/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 德国法*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造传感元件的方法，其中传感元件的至少一部分在制造期间经历至少一个等离子处理过程(B、E、I)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 速度 传感 元件 方法 | ||
【主权项】：
用于制造传感元件的方法，其特征在于，所述传感元件的至少一部分在制造期间经历至少一个等离子处理过程(B、E、I)。
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