[发明专利]测试静电夹盘的系统和方法有效
| 申请号： | 200980139294.3 | 申请日： | 2009-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN102171809A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 石洪;绍拉·乌拉尔;托川·黄;方严;麦克切斯尼·乔恩 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于预测静电夹盘(ESC)的满意性能的可靠的、非侵入式的、电气测试方法。根据本发明的一个方面，在频带上测量ESC的参数(例如阻抗)以产生参数函数。此参数函数可被用于在该频带内为该参数建立预定的可接受范围。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 静电 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种测试静电夹盘的方法，所述静电夹盘具有前表面和后表面并包含至少一个电极，所述方法包含：建立频带内所述静电夹盘的参数的预定可接受极限；以及测量所述频带内所述静电夹盘的所述参数。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
