[发明专利]用于测量第一构件和第二构件以及使第一构件和第二构件相对于彼此对齐的装置和方法有效
| 申请号： | 200980140102.0 | 申请日： | 2009-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN102177411A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 彼得·施特伦贝格 | 申请（专利权）人： | 埃洛斯菲克斯图尔激光公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田军锋;魏金霞 |
| 地址： | 瑞典默*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量第一构件(2，4)和第二构件(3，5)以及使第一构件(2，4)和第二构件(3，5)相对于彼此对齐的装置(1)，其中，所述装置包括第一检测器单元(6)、第二检测器单元(7)以及控制单元(12)，该第一检测器单元(6)布置成安装在第一构件(2，4)上，该第二检测器单元(7)布置成安装在第二构件(3，5)上，该控制单元(12)连接于第一检测器单元(6)和第二检测器单元(7)。装置(1)包括布置在第一检测器单元(6)上的第一几何图案(16)和布置在第二检测器单元(7)上的第二几何图案。第一几何图案(16)的位置能够由第二检测器单元(7)检测，并且第二几何图案的位置能够由第一检测器单元(6)检测。本发明还涉及一种用于使第一构件(2，4)和第二构件(3，5)对齐的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 第一 构件 第二 以及 相对于 彼此 对齐 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量第一构件(2，4)和第二构件(3，5)以及使所述第一构件(2，4)和所述第二构件(3，5)相对于彼此对齐的装置(1)，其中，所述装置包括第一检测器单元(6)、第二检测器单元(7)以及控制单元(12)，所述第一检测器单元(6)布置成安装在所述第一构件(2，4)上，所述第二检测器单元(7)布置成安装在所述第二构件(3，5)上，所述控制单元(12)连接于所述第一检测器单元(6)和所述第二检测器单元(7)，其特征在于，所述装置(1)还包括布置在所述第一检测器单元(6)上的第一几何图案(16)和布置在第二检测器单元(7)上的第二几何图案，所述第一几何图案(16)的位置能够由所述第二检测器单元(7)检测，并且所述第二几何图案的位置能够由所述第一检测器单元(6)检测。
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