[发明专利]相对压力传感器有效
申请号: | 200980141769.2 | 申请日: | 2009-08-12 |
公开(公告)号: | CN102187191A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 英·图安·塔姆;弗兰克·帕斯勒;乌尔里希·布德尔;达维德·帕罗托;奥拉夫·克鲁泽马克 | 申请(专利权)人: | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 邹璐;樊卫民 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 用于相比于周围大气压力检测介质压力的相对压力传感器(10),包括:具有测量膜片(11)和基座(12)的压力测量单元,其中,测量膜片(11)的背向基座(12)的第一侧可以被施加介质压力,以及其中,基座(12)具有基准空气开口(14),通过该基准空气开口(14),测量膜片(11)的面向基座(12)的第二侧可以被施加相对压力传感器(10)的环境中的大气压力;承载主体(20),基准空气通道贯穿其分布在承载主体(20)的第一表面部段与第二表面部段之间,其中,压力测量单元利用抗压的粘接部(22)固定在承载主体上,其中,基准空气开口(14)与基准空气通道连通,以形成通向测量膜片的基准空气路径(18),其中,粘接部围绕基准空气路径,其中,相对压力传感器还具有屏蔽元件(16),其保护粘接部免于与基准空气直接接触。 | ||
搜索关键词: | 相对 压力传感器 | ||
【主权项】:
用于相比于周围大气压力检测介质压力的相对压力传感器,包括:具有测量膜片(11)和基座(12)的压力测量单元(10),其中,所述测量膜片的背向基座的第一侧能够被施加以介质压力,以及其中,基座具有基准空气开口(14),通过所述基准空气开口(14),所述测量膜片的面向基座的第二侧能够被施加相对压力传感器的环境中的大气压力;承载主体(20),基准空气通道贯穿该承载主体(30)分布在所述承载主体的第一表面部段与第二表面部段之间,其中,所述压力测量单元(10)利用抗压的粘接部(22)固定在所述承载主体上,其中,所述基准空气开口(14)与所述基准空气通道相连通,以形成通向所述测量膜片的基准空气路径(18),其中,所述粘接部(22)围绕所述基准空气路径(18),其中,所述相对压力传感器还具有屏蔽元件(16),所述屏蔽元件保护所述粘接部(22)免于与基准空气直接接触。
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